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放弃对浸没液温度的死控，转而通过定制化窄线宽可调谐ArF激光器，同步微调光源的真空波长来抵消折射率的波动，以此维持相位的绝对恒定！
这个思路，在光学理论上已经走通了。
至于算例瓶颈？
那只是因为，之前不值得去做而已，不然这个瓶颈早不在了。
就在这时，一个组员突然从工位上跳了起来，手里抓着一叠打印出来的数据报告。
“组长！组长！”
“我们往前走了一步！真的走通了一步！”
张默转过头看着他。“说！”
“我们尝试放弃了实时全流域直接数值模拟，先通过大涡模拟完成全工况流场数据库构建。”
“再基于本征正交分解搭建了降阶预测模型，还在边界层贴近晶圆的微米级区域，加入了局部启发式流场修正算法！”
组员激动的指着数据曲线。
“结果显示，在额定扫描速度区间内，流热耦合带来的折射率场预测误差，被稳定控制在了光刻制程允许的容差范围内！”
“虽然只是个近似解，但前馈控制的响应延迟，已经被压缩到了理论上的300微秒！”
张默倒吸一口李东，感觉头皮一阵发麻。
“你算过没有？如果我们要彻底攻克这个算法瓶颈，把延迟压缩到200微秒的量产硬指标以内，还需要多久？”
组员也冷静了下来，根据现实的数据反馈给出了一个评估。
“立刻落地肯定是不可能的，算力硬件和算法优化的缺口都在这里。”
“但是，只要按照现在这个大纲方向死磕，多砸点资源进去训练模型，大概一两年就可以解决。
对于半导体设备这种核心技术动辄以十年为研发周期的领域来说。
一两年就能完成从原理验证到量产落地，已经算得上是光速推进了。
听完这话张默感觉整个人都活过来了。
“好！非常好！你们继续跑数据，盯着模型收敛情况！”
张默一把抓起桌上的工作牌，离开了实验室。
一路快步来到顶层的总监办公室，张默敲了敲门。
“进。”
张默推门而入，发现林伟正站在打电话。
“行，你待会把你舅舅的地址给我，我会安排的……”
林伟挂断了电话，转过身看着张默。
“张默，有什么事吗？”