第一卷第287章因为她看见了

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息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。
    嗤！
    一声极轻的灼响。
    光，咬住了。
    “聚焦成功！”
    “主焦点锁定成功！”
    会场里先是一静。
    紧接着。
    轰！
    整个主控区像炸了一样。
    “成了！”
    “真的聚住了！”
    “曝光！快上曝光程序！”
    程美丽一掌拍下执行键。
    啪！
    晶圆工件台开始高速平移。
    涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。
    那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。
    全场没人再说话。
    只剩设备运转的低沉轰鸣。
    还有众人压得发疼的呼吸。
    三分钟后。
    滴！
    曝光结束。
    晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。
    化学显影液如细雨般淋下。
    冲洗。
    定型。
    白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。
    “出来了。”
    程美丽开口。
    机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。
    李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。
    一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。
    程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。
    咔。
    目镜锁定。
    她低头看了一眼。
    没说话。
    直接抬手把显微镜画面投上了主屏。
    嗡！
    巨幕亮起。
    一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。
    晶格。
    线路。
    一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。
    每一条边缘都锋利。
    每一个拐角都干净。
    没有塌陷。
    没有毛刺。
    没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。
    主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。
    0.5微米。
    李副部长盯着那串数字，整个人像是被雷劈中了。
    “零点……五……”
    他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。
    下一秒。
    他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。
    肩膀剧烈发抖。
    “成了……”
    “成了啊！”
    这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。
    欢呼声。
    拍桌声。
    金属栏杆被砸得咣咣作响。
    两名头发花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。
    其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。
    但这些声音，都被程美丽扔在了身后。
    她站在大屏前，盯着那片0.5微米的完美晶格，眼神却没有松下来。
    因为她看见了。
    在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。
    某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。
    不大。
    只有针尖那么一点。
    却像一根细针，刺进了她的眼底。
    她没有出声。
    只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。
    笃。
    笃。
    主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。
    距离芯片蚀刻工序开始。
    还剩2小时。

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